高純氣體(High Purity Gases)氣體工業名詞，通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬，在半導體工業，高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。

高純氮氣在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

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